SiC keramik

SiC keramik er sífellt meira notað í hálfleiðarabúnaði, aðallega vegna þess að það endist betur við erfiðari aðstæður. Þegar hitastig hækkar eða ferlið verður árásargjarnara geta efni eins og kvars eða kísill farið að sýna takmörk, og það er venjulega þar sem SiC kemur inn í myndina. Í ofnferlum eins og oxun eða dreifingu, endast hlutar eins og skífubátar eða spaðar úr SiC lengur. Þeir halda lögun sinni og bera ekki með sér mikla mengun, jafnvel eftir langar keyrslur. Fólk skiptir oft frá kvarsi af þessari ástæðu, sérstaklega þegar viðhald verður of tíð.

Fyrir etsun er SiC oft valið einfaldlega vegna þess að það endist lengur í plasma. Munurinn á líftíma samanborið við kísilhluta er áberandi í mörgum uppsetningum, þó það fari enn eftir nákvæmu ferlinu. Það hjálpar einnig aðeins við agnastjórnun, sem verður næmari eftir því sem hnútar minnka. Þú munt einnig sjá SiC notað sem agnaskynjara í MOCVD eða CVD. Í þeim tilfellum snýst það minna um „styrk“ og meira um að halda hitastigshegðun stöðugri. Þar fyrir utan birtist það í hlutum hólfsins eins og fóðringum eða sturtuhausum, og stundum einnig í meðhöndlunarhlutum.