CVD Silicon Carbide (SiC) húðun

CVD SiC húðun er í grundvallaratriðum kísilkarbíðlag sem er sett ofan á grafít og er mikið notuð í epitaxískum verkfærum þar sem bæði hitastig og hreinleiki skipta máli. Í raunverulegum framleiðslulínum sérðu það oft í kerfum frá AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, sem og sumum AMAT-tengdum kerfum. Það sem gerir það gagnlegt er ekki bara hitaþolið, heldur einnig heildarstöðugleikinn við langar keyrslur. Við dæmigerðar epitaxískar aðstæður - vetni, ammóníak eða jafnvel klóruð lofttegundir - helst húðunin tiltölulega stöðug og verndar grafítið undir. Það hjálpar til við að halda hitasviðinu stöðugra og dregur úr líkum á að agnir komi fram við vöxt.

Oftast er húðunin borin á hluti eins og móttakara, skífuburðarhluta, grafíthringi eða hálfmánahluta. Þessir hlutir taka allir beinan þátt í upphitun eða staðsetningu skífna, þannig að hver lítill óstöðugleiki getur haft áhrif á afköst. Þess vegna eru húðaðir hlutar oft meðhöndlaðir sem rekstrarvörur sem þurfa samt að vera áreiðanlegar í margar lotur, sérstaklega í 4 til 12 tommu framleiðslu.