CVD SiC húðaður skífubátur fyrir oxun og dreifingu

Hjá Semixlab framleiðum við SiC-húðaðar skífur fyrir krefjandi hálfleiðaraumhverfi – þar sem samræmi, hreinleiki og langur endingartími skipta miklu máli.

Við byrjum með hágæða kísilkarbíðkeramik (SiC keramik, hreinleiki yfir 99.9%) og berum á þétta CVD kísilkarbíðhúð (CVD SiC) með 6N hreinleika. Þannig halda bátarnir okkar burðarþoli sínu jafnvel eftir endurtekna upphitun og kælingu og þeir hjálpa til við að draga úr mengunarhættu við framleiðslu.

Hvað er SiC-húðaður skífubátur eiginlega?

Vafrabátur er í grundvallaratriðum burðartæki sem heldur nokkrum vafraum við hitavinnslu. Það heldur vafraumunum í réttu bili og stuðningi, en tryggir jafnt að varmi flyst yfir þær.

Í samanburði við hefðbundna grafítskífuflutninga bjóða háþróaðir SiC keramikskífuflutningaskipar upp á betri hitastöðugleika, hreinleikastjórnun og oxunarþol í hálfleiðaraofnum. En við erfiðar aðstæður í hálfleiðaraofnum – með tímanum – getur lent í hlutum eins og yfirborðsoxun, agnalosun eða efnafræðilegri rofi.

Þess vegna velur fólk oft SiC húðun.

Kísilkarbíðlagið myndar þétta verndarhúð yfir grafítflötinn. Það bætir:

-Oxunarþol

-Efnafræðileg tæringarþol

-Yfirborðshörku

-Ögnastýring

-Hversu lengi hlutinn endist

Þess vegna eru CVD SiC-húðaðar skífur mikið notaðar í oxunarofnum, dreifingarofnum og öðrum varmavinnslukerfum sem krefjast mikillar hreinleika.

Helstu eiginleikar Semixlab SiC húðaðra skífubáta

Háhrein yfirborð

Óhreinindi geta haft bein áhrif á framleiðslugetu skífna. Við fínstillum húðunarferlið okkar til að tryggja hreinleika á sama hátt og í hálfleiðurum, þannig að við getum hjálpað til við að lágmarka málmmengun við framleiðslu.

Mikill hitastöðugleiki

Við oxunar- og dreifingarvinnslu verða skífubátar að viðhalda víddarstöðugleika og afar hreinum yfirborðum við endurteknar háhitalotur. Skífubátarnir okkar eru hannaðir til að halda vídd sinni í gegnum endurteknar upphitunar- og kælingarlotur.

Lítil agnamyndun

Þar sem yfirborðið er þéttara verður minna grafít fyrir – sem þýðir að færri agnir losna og þú færð hreinna vinnuumhverfi.

Jafnvægi húðunarþekju

Flókin raufar og horn þurfa samræmda húðþykkt. Innbyggð húðunarferli okkar hjálpar okkur að ná betri yfirborðsjafnvægi yfir allan hlutinn.

Sérsniðin vinnslugeta

Mismunandi búnaðarpallar þurfa mismunandi stærðir. Við styðjum sérsniðnar hönnun byggðar á teikningum þínum eða kröfum um ferli.

Framleiðsla og gæðaeftirlit

Hver skífuplata gengst undir nákvæma keramikvinnslu, yfirborðsundirbúning og útfellingu hágæða CVD SiC húðunar.

Hjá Semixlab fer hver einasti hluti í gegnum:

-Hráefnisskoðun

-Nákvæm CNC vinnsla

-Yfirborðshreinsunarmeðferð

-CVD SiC húðun

-Staðfesting á víddum

-Lokaútlit og gæðaeftirlit

Við gerum þetta svo þú fáir áreiðanlega frammistöðu áður en hlutinn fer í verkfærið þitt.

Af hverju að velja Semixlab?

Við sérhæfum okkur í framleiðslu á hálfleiðaragrafíti og húðunaríhlutum. Við aðstoðum viðskiptavini með:

-Húðunartækni framleidd á staðnum

-Sveigjanleg sérsniðin framleiðsla

-Hröð verkfræðileg samskipti

-Þekking á hálfleiðaraferlum

-Stöðug alþjóðleg framboðsgeta

Hvort sem þú ert að þróa búnað, keyra tilraunalínu eða stunda fjöldaframleiðslu, þá getur verkfræðiteymi okkar stutt þarfir þínar.

Ef þú ert að leita að áreiðanlegum birgja af SiC-húðuðum skífum, þá getur Semixlab boðið þér sérsniðnar lausnir byggðar á teikningum þínum eða ferlisskilyrðum.

Raunverulegar upplýsingar er hægt að aðlaga eftir aðstæðum í notkun.

SiC-húðaðar skífubátar okkar eru mikið notaðir í:

● Hálfleiðaraoxunarofnar

● Hálfleiðara dreifingarofnar

● Hitaglæðingarkerfi

● Hálfleiðara hitameðferðarbúnaður

● Ítarleg rannsóknar- og þróunarforrit fyrir hálfleiðara

● Glæðingarferli

● Rannsóknir á háhita hálfleiðaraefnum