SiC keramik deigla

SiC keramikdeiglan þjónar sem mikilvægt ílát til að geyma og hvarfa í ferlum eins og SiC og GaN kristallavöxt, útfellingu í epitaxialformi, dreifingu og háhitaglæðingu — þar sem hreinleiki, stöðugleiki og hitastigsjöfnuður hafa bein áhrif á afköst og gæði kristalla.

Eiginleikar efnis

● Efnissamsetning: Ofurhreint sintrað SiC eða CVD-SiC (≥99.9%)

● Þéttleiki og örbygging: Fullkomlega þétt, fínkornótt og ekki porós uppbygging fyrir framúrskarandi gasógegndræpi

● Hitastöðugleiki: Frábær árangur allt að 2000°C í óvirkum eða hvarfgjörnum lofttegundum

● Varmaleiðni: 120–200 W/m·K, sem tryggir framúrskarandi hitajöfnuð

● Tæringarþol: Framúrskarandi stöðugleiki í vetnis-, klór- og halógenbundnum ferlisgasi

● Yfirborðsáferð: Spegilslípuð og plasmahreinsuð til að lágmarka agnamyndun

Lykilforrit í hálfleiðaraframleiðslu

SiC keramikdeiglan gegnir mikilvægu hlutverki í nokkrum framleiðslustigum hálfleiðara, þar á meðal:

1. Kristallavöxtur og epitaxía

SiC-deiglur eru notaðar í PVT (Physical Vapour Transport) og CVD epitaxial vaxtarkerfum og veita stöðugt, óhvarfgjarnt ílát fyrir upprunaefni og vaxtarkristalla.

Mikil hreinleiki þeirra og samsvarandi varmaþenslustuðull lágmarkar mengun og spennu og tryggir gallalausa kristallamyndun fyrir SiC, GaN og Ga₂O₃ undirlag.

2. Dreifing og glæðing við háan hita

Í hitameðferð, dreifingu og oxunarferlum viðhalda SiC-deiglum lögun sinni og efnafræðilegri heilleika jafnvel þótt hitakerfið sé í miklum hitahringrásum, sem kemur í veg fyrir útgasun og losun agna sem geta haft áhrif á gæði skífna.

3. Efnissintrun og duftvinnsla

SiC-deiglur eru einnig tilvaldar fyrir duftsintrun í hálfleiðaraflokki, þar sem þær bjóða upp á efnaóvirkni við háan hita og víddarstöðugleika í lofttæmi eða stýrðum andrúmsloftsskilyrðum.

Kostir Semixlab

Hjá Semixlab Semiconductor bjóðum við upp á meira en bara íhluti — við afhendum alhliða verkfræðilausnir til að uppfylla strangar kröfur framleiðslu hálfleiðara.

1. Sérsniðin hönnun

● Sérsniðin lögun, þykkt og stilling gasinntaks í deiglunni.

● Samhæft við helstu kristalvaxtar- og CVD-kerfi (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco o.fl.).

2. Tæknileg ráðgjöf

● Innri efnisfræðingar og ferlisfræðingar með yfir 20 ára reynslu í greininni.

● Stuðningur við varmahönnun, hermun á gasflæði og ferlissamsvörun.

3. Gæðaeftirlit fyrir afhendingu

● Hver deigla gengst undir nákvæmni víddarskoðunar, lekaprófun á helíum og greiningu á yfirborðsgrófleika.

● Valfrjáls CVD verndarhúðun og spegilpússun fyrir aukinn líftíma og hreinleika.

Semixlab SiC keramikdeiglan setur ný viðmið fyrir hitastöðugleika, hreinleika og efnafræðilegan endingu í háþróaðri hálfleiðaravinnslu. Með sérsniðnum hönnunarmöguleikum, tæknilegri ráðgjöf og ströngum skoðunum fyrir sendingu tryggir Semixlab að hver vara uppfyllir strangar kröfur háhita- og hreinleikahálfleiðara. Við hlökkum til að heyra frá þér.