Kísilhlutar

Kísilhlutar eru aðallega notaðir vegna þess að þeir passa við efnið í skífunni. Það eitt og sér gerir þá gagnlega, þar sem það dregur úr líkum á óæskilegum frávikum í ferlinu. Þeir eru algengir í etsunar- og útfellingarumhverfum. Afköstin eru almennt stöðug, þó að líftími geti verið nokkuð breytilegur eftir því hversu erfitt ferlið er.

Með betri vinnslu og yfirborðsmeðhöndlun hafa þessir hlutar batnað með tímanum. Þrátt fyrir það eru þeir ekki alltaf valdir vegna endingar, heldur frekar vegna eindrægni og samræmis í ferlinu.