Kvars varahlutir

Kvars er enn alls staðar í hálfleiðaravinnslu. Það er ekki nýtt af nálinni, en það er áreiðanlegt og flestir verksmiðjur þekkja hvernig það hagar sér. Svo lengi sem hreinleiki er stjórnaður virkar það vel í dreifingu, oxun og hreinsun.

Margir kvarshlutar fara í ofnakerfi eða PECVD verkfæri. Helsta væntingin er stöðugleiki — ekki endilega langur líftími, heldur fyrirsjáanleg afköst. Það er yfirleitt nóg fyrir margar hefðbundnar aðferðir.

Auðvitað hefur kvars sín takmörk. Það getur slitnað hraðar við ákveðnar aðstæður, sérstaklega samanborið við SiC. En þar sem það er tiltölulega auðvelt að nálgast það og ekki of dýrt, nota menn það samt töluvert mikið.