GaN / GaAs CVD SiC húðaður epitaxy næmniburðarefni

Grunnuppbyggingin er frekar einföld. Við notum kjarna úr grafíti með mikilli þéttleika og ræktum þykkt β-SiC lag ofan á með CVD. Það gefur þér þá varmaleiðni sem þú vilt frá grafítinu, á meðan SiC húðin sér um efnasamsetninguna. NH₃, H₂ og hvað annað sem ferlið kastar á það — húðunin heldur öllu þessu frá grafítinu fyrir neðan. Niðurstaðan er hluti sem endist í GaN, GaAs, Micro-LED, RF og hálfleiðaraframleiðslu.

Hvað fær þá til að virka í hinum raunverulega heimi?

Hvað varðar hreinleika: við erum vandlát á hráefnið úr grafítinu. Ísostatísku grafítið sem við notum byrjar hreint og CVD SiC húðunin verður mjög þétt. Mengun málms er nógu lítil til að þú þarft ekki að hafa áhyggjur af því að það mengi mjög hreint epitaxískt hólf.

Hitaeiginleikar skipta jafn miklu máli. Við leggjum okkur fram um að aðlaga hitastillinguna þannig að yfirborð skífunnar nái jöfnum hita. Langar keyrslur við hátt hitastig, hröð upphitun og kæling - móttakarinn helst stöðugur í öllum víddum. Þessi samræmi birtist í þykktarjöfnuði og samsetningarstýringu í hverri keyrslu.

Efnaárás er líklega stærsta áhyggjuefnið í GaN MOCVD. Ef þú hefur einhvern tímann horft á beran grafíthluta eyðast eftir nokkrar lotur, þá veistu hvað ég meina. SiC húðunin breytir þeirri hreyfifræði. Hún þolir ferlislofttegundir miklu betur og vegna þess að hún losar ekki efni þegar hún eldist, færðu færri agnir sem fljóta um hólfið. Hreina hólf, betri afköst - það er svona beint.

Vélrænt séð festist húðunin. Við höfum lagt mikla vinnu í viðloðunina, þannig að þú færð ekki blöðrur eða flögnun jafnvel þegar hlutinn verður fyrir hitaáfalli. Þétt CVD uppbygging hjálpar einnig við það. Notendur sjá oft líftíma sem er margfalt lengri en þeir myndu fá með óhúðuðu grafíti, sem þýðir minni niðurtíma vegna þrifa á hólfinu og hlutaskipta.

Hvar finnur þú þau venjulega?

GaN MOCVD og HVPE — LED ljós, aflgjafar, RF flísar, Micro-LED ljós. Vinnsluhitastig er á bilinu 1000°C til 1100°C, akkúrat á besta stað fyrir þetta efniskerfi.

GaAs MOCVD — VCSEL-einingar, ljósleiðaralaserar, innrauðir skynjarar, RF-hlutar. Líkar hitakröfur, örlítið mismunandi efnasamsetning, sama þörf fyrir hreinan og stöðugan burðarefni.

Almenn verkfæri fyrir háhita hálfleiðara — umfram bara epitaxískar hvarfefni, birtast þau í skífuflutningssamstæðum og íhlutum í hitasvæðum þar sem hreinlæti og hitastöðugleiki skipta máli.

Hvernig við höldum gæðum stöðugum

Þú getur fengið besta grafítið og bestu húðunarefnafræðina, en ef ferlið er ekki stillt til fulls, mun hlutinn ekki virka. Við veljum grafíttegundir út frá varmaleiðni, eðlisþyngd og langtíma víddarstöðugleika. Síðan er CVD-skrefið stillt að hverri hönnun - sérstaklega mikilvægt fyrir stóra móttakara eða eitthvað með flókna rúmfræði. Markmiðið er jöfn þekja og sterk viðloðun, engir þunnir blettir eða veikir brúnir.

Hver framleiðslulota fer í gegnum nokkur eftirlitspunkt: þykkt húðunar, yfirborðsgrófleika, mikilvægar víddir, hreinleika og heildarheilleiki húðunar. Það er ekki glæsilegt, en það er það sem heldur agnatölu niðri og gerir þér kleift að endurtaka ferlið án óþægilegra óvæntra uppákoma.

Af hverju að nota SiC húðun í staðinn fyrir berum grafít?

Einfaldlega sagt: ber grafít étur sig. SiC-húðað grafít gerir það ekki. Nánar tiltekið færðu:

● Mun betri viðnám gegn ætandi lofttegundum

● Mun minni agnamyndun með tímanum

● Lengri endingartími fyrir skipti

● Stöðugri ferlisskilyrði

● Hærri og stöðugri afköst skífu

Það er þessi samsetning sem er skynsamleg — grafít flytur hita, SiC þolir efnafræðilega áreitni. Í efnafræðilegri hálfleiðaragreiningu hefur það orðið aðallausnin af ástæðu.

Customization

Við smíðum næstum aldrei nákvæmlega sama hlutinn tvisvar. Mest af því sem við sendum er framleitt eftir teikningu viðskiptavinar eða stillt fyrir tiltekna gerð kjarnaofns. Við getum aðlagað:

● Stærð og vasauppsetning obláta

● Fjöldi og uppröðun vasa

● Holamynstur og gegnumgöt

● Heildarþykkt

● Kröfur um yfirborðsfrágang

Frumgerðir og framleiðslumagn eru bæði í lagi — við vinnum með þér hvort sem þú þarft nokkra prufuhluta eða stöðugar afhendingar.

Algengar spurningar

Hvað nákvæmlega gerir SiC-húðaður skynjari?

Það heldur skífunum við vöxt epitaxial, dreifir hita jafnt yfir yfirborð skífunnar og notar SiC lagið til að vernda grafítið gegn ætandi ferlislofttegundum.

Af hverju ekki bara að nota óhúðað grafít?

Óhúðað grafít tærist of hratt í lofttegundum eins og heitu ammóníaki og vetni. Það myndar agnir, styttir líftíma hluta og hefur áhrif á afköst. SiC húðunin leysir öll þessi þrjú vandamál.

Geturðu smíðað þetta fyrir mismunandi kjarnaofna?

Algjörlega. Við sníðum mál, vasauppsetningar og gatamynstur til að passa við hvaða MOCVD eða HVPE verkfæri sem þú notar.

Fyrir hvaða ferli henta þau?

GaN LED, aflgjafi og RF epitaxí; Micro-LED; VCSEL og GaAs epitaxí — hvar sem þú þarft hreinan, hitastöðugan burðarefni við háan hita.