Að koma í veg fyrir mengun í geymslu á hlutum með mikilli hreinleika CVD-húðun

Vandamálið við að framleiða hreint Hreinleiki CVD SiC hráefnis Það er einnig mikilvægt að halda hlutum hreinum frá framleiðslu til uppsetningar í epitaxíukerfi. Óverulegt magn af ryki og mengun sem safnast fyrir við geymslu getur leitt til galla á skífum og minnkað afköst við framleiðslu þegar kerfið ræsir. Oft stafa vandamál frá geymslu, ekki framleiðsluferlinu sjálfu. Sem dæmi um mengun í geymslu tóku verkfræðingar eftir að hreinsaðir móttakarahlutar höfðu mengast þegar þeir voru geymdir við opna verkstæðishurð; óstöðugleiki við framleiðslu myndaðist þegar búnaðurinn var tekinn aftur í notkun.

Staðlar fyrir umbúðir í hreinum herbergjum fyrir CVD SiC og CVD TaC húðaða hluta

Rétt umbúðir með mikilli hreinleika CVD sic húðun or CVD TaC Húðaðir hlutar eru meira en bara að koma í veg fyrir efnislega skemmdir; þeir eru einnig ætlaðir til að vernda hreint yfirborð sem næst við húðun. Smáar agnir sem sjást ekki með augum geta haft neikvæð áhrif á gæði skífunnar við húðun.

Fyrsta skrefið í öllum pökkunarferlum ætti að fara fram í hreinu herbergi með jákvæðum þrýstingi og hreinu umhverfi sem viðhaldið er með skilvirkum loftsíum. Nota skal alltaf fatnað fyrir hreint herbergi, þar á meðal grímur, og púðurlausa hanska til að koma í veg fyrir að húðagnir, ryk eða trefjar berist á íhlutina.

Efni sem notuð eru í umbúðir eru einnig mikilvæg. Venjulega eru tvö lög af plastpokum fyrir hreinrými notaðir til að tvöfalda vernd íhlutanna; þó má nota lofttæmis- eða köfnunarefnisumbúðir fyrir mjög viðkvæma hluti til að lágmarka enn frekar bæði raka og mengun í andrúmsloftinu. Verndandi froða sem notuð er ætti einnig að vera úr efni sem er öruggt fyrir hreinrými og gefur frá sér litla lofttegund til að koma í veg fyrir að frekari mengunarefni losni frá geymslu til íhluta.

Þegar íhlutirnir hafa verið innsiglaðir ætti aðeins að fjarlægja þá úr umbúðunum í hreinu herbergi, ekki í opnu verkstæði. Opnun á óhóflega pakkaðri íhlut getur mengað hann aftur þannig að það þarf að þrífa hann aftur.

Með réttri umbúðum haldast íhlutirnir hreinir til notkunar í framleiðslu.

Réttar meðhöndlunaraðferðir fyrir hluta úr grafíti með mikilli hreinleika

Þó að hlutar úr hágæða grafíti virðast mjög endingargóðir, eru þeir viðkvæmir fyrir því að safna óhreinindum, olíu og raka á yfirborði sínu. Þessi mengunarefni geta haldist ógreind allan líftíma hlutarins en geta haft áhrif á yfirborðsmyndun síðar.

Meðhöndlun hluta verður alltaf að vera með púðurlausum, hreinum nítrílhönskum. Berar hendur ættu aldrei að komast í snertingu við neina hlutana, þar sem húðolíur festast við yfirborð hlutarins í mjög litlu magni og geta verið erfiðar að fjarlægja af yfirborðinu síðar.

Einnig þarf að meðhöndla hlutana varlega. Það getur myndast smásæjar sprungur í hlutanum ef þeir eru teknir af borði á brúnunum, sem geta ekki sést strax en komið fram eftir nokkrar upphitunarlotur. Þótt það sé ekki alltaf hægt að sjá þær geta agnir myndast í hvarfefninu.

Þú ættir einnig að vera í umhverfi sem er bæði hentugt og hreint fyrir viðkomandi notkun. Ef hlutar eru meðhöndlaðir og skildir eftir á vinnuborðinu máttu ekki leyfa þeim að liggja á málmborði, pappa eða hráu plasti þar sem það getur losað ryk og trefjar á hlutinn.

Einnig ætti að hafa loftflæðið í huga við meðhöndlun hluta. Ryk sem blæs á hlutinn frá viftu, eða ef hurð er opin, getur safnast fyrir á hlutunum og þess vegna framkvæma margar verksmiðjur meðhöndlun hluta undir laminarflæðisbekk eða á hreinu svæði.

Raka- og oxunarhætta við langtímageymslu íhluta

Þótt hlutar (sem voru úr hágæða grafíti) virtust vera mjög hágæða, er tiltölulega auðvelt að fá óhreinindi, olía og raka til að festast á yfirborði hlutanna og vera ógreinanleg allan líftíma þeirra, en hafa áhrif á yfirborðseiginleika þeirra síðar.

Meðhöndlun hluta verður alltaf að vera í púðurlausum, hreinum nítrílhönskum. Hlutina má aldrei snerta með berum höndum, þar sem húðolíur festast við yfirborð hlutarins í mjög litlu magni og eru afar erfiðar að fjarlægja síðar.

Einnig verður alltaf að meðhöndla hluta af mikilli varúð. Jafnvel þótt hlutir séu teknir upp af brúnunum af vinnuborðinu gæti það leitt til örsmárra sprungna í hlutanum sem sjást ekki fyrr en hann hefur farið í gegnum nokkrar hitabreytingar, og þótt sprungurnar sjáist ekki gæti það leitt til þess að agnir myndist í hvarfefninu.

Einnig ættir þú að reyna að vera í viðeigandi og hreinu umhverfi fyrir viðkomandi verkefni. Meðhöndlun og að skilja hlutina eftir á vinnuborðinu er aðeins ásættanlegt ef þeir eru ekki skildir eftir á málmborði, pappa eða óundirbúnu plastyfirborði, þar sem rykagnir munu losna á hlutinn.

Einnig verður að hafa loftflæði í huga, því rykagnir sem blása á hlutinn í gegnum viftuna eða að utan vegna opinnar hurðar gætu fest sig við hlutinn og því nota mörg fyrirtæki Laminar Flow-bekki eða hrein herbergi til að framkvæma þessar meðhöndlunarferli á hlutunum.

Flutningsvernd fyrir stóra skynjara og fljótandi gasdiska

Stórir skynjarar og fljótandi gasdiskar, þótt þeir séu stórir íhlutir, geta samt skemmst við flutning ef þeir eru ekki rétt studdir.

Meirihluti skemmda á flutningum stafar af titringi og ójöfnum þrýstingi, ólíkt stórum slysum. Stóru íhlutirnir þurfa að vera fullkomlega studdir í flutningsílátinu og öll halla eða jafnvel þrýstingur til hliðar á meðan á ferð stendur í langan tíma getur valdið því að íhlutirnir beygja sig sem verður skaðlegt fyrir kjarnaofninn.

Til að vernda stóru hlutana þarf að styðja þá að fullu með hreinu umbúðaefni til að dreifa álaginu um allan íhlutinn inni í kassanum og pakka þá til að draga úr titringi.

Einnig þarf að huga að rakavörn. Með því að nota innsiglaða innri poka og þurrkefni er hægt að koma í veg fyrir uppsöfnun raka við pökkun, upppökkun og sendingu.

Einnig ætti að flytja kassa með gaffallyfturum og lyftibúnaði á meðan þeir eru haldið tiltölulega láréttum og viðhalda þrýstingi á kassanum til að koma í veg fyrir að innri farmur færist til á meðan flutningi stendur.

Innkomandi skoðunarstaðlar fyrir uppsetningu á epitaxíkjarnaofni

Síðasta tækifærið til að greina vandamál með hlut áður en hann er settur í epitaxíuhvarfefni er þegar hlutinn berst.

Þó að hlutur líti hreinn út eftir geymslu og flutning, gætu samt verið mengunarefni eða smáir gallar til staðar sem gætu ekki komið í ljós fyrr en hvarfefnið er orðið heitt.

Skoðunarferlið ætti að fara fram á hreinu svæði þar sem hægt er að opna umbúðir án þess að ryk myndist. Þá er hægt að skoða hlutinn vandlega undir sterku ljósi til að leita að göllum, mislitun, sprungnum hornum eða skemmdum húðunum.

Stóra íhluti eins og fljótandi gasdiskar og skynjarar þarf einnig að skoða til að athuga hvort þeir séu flatir og réttar víddir því litlar breytingar á hvoru tveggja geta valdið vandamálum með afköst. Margar verksmiðjur athuga einnig hreinleika yfirborðsins rétt áður en íhluturinn er settur í hvarfefnið.

Að hafa ítarlegar skrár yfir hvern hlut, þar á meðal raðnúmer og myndir, getur einnig verið mikil hjálp þegar hlutur bilar eða veldur vandamálum síðar.

Ítarleg skoðun á innkomu kerfa felur ekki bara í sér að neita að taka við lélegum hlutum. Hún gerir verkfræðingnum kleift að finna minniháttar vandamál áður en þau verða að framleiðsluvandamálum, sem leiðir til betri stöðugleika í ferlinu, færri óvæntra bilana og hærri afkastagetu skífna.