EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Háhreinleiki SiC skífubátur
Sem leiðandi kínverskur framleiðandi og birgir af hágæða SiC skífubátum er kísilkarbíðskífubáturinn frá Semixlab mikið notaður í lykilferlum eins og LPCVD, oxun og glæðingu vegna framúrskarandi hitastöðugleika, tæringarþols og vélræns styrks. Ef þú ert að leita að SiC skífubát sem getur lágmarkað agnamengun, lengt líftíma og tryggt öryggi skífna, þá er þessi vara kjörin vara fyrir þig.
Lýsing
Í framleiðslu hálfleiðara eru háhitaferli gríðarleg áskorun fyrir skífuflutninga. Þegar hitastigið fer yfir 1600°C byrjar hefðbundinn kvarsflutningur (kvarsbátur sem notaður er í skífu) að mýkjast og afmyndast og losa mengunarefni, sem veldur því að úrgangshlutfall skífna eykst gríðarlega.
Hrein SiC-skífubátur, með þeim efnislegu kostum sem kísilkarbíð (SiC) hefur í för með sér, leysir þennan erfiðleika í greininni að fullu og verður nauðsynlegt tæki fyrir háþróaða hálfleiðaraframleiðslu, sérstaklega framleiðslu á SiC-aflbúnaði.
upplýsingar
Helstu eðliseiginleikar og tæknilegir þættir vörunnar:
| Árangursvísar | Háhreinleiki SiC skífubátur | Hefðbundinn kvarsburðarefni | Bættir kostir |
| Hámarks hitastig | 1800°C (samfellt) / 2000°C (hámark) | 1200 ° C | Hitaþol batnaði um 50% |
| Hitaleiðni | 4.9 W/cm·K (stofuhitastig) | 1.5 W/cm²·K | Skilvirkni varmadreifingar jókst um 226% |
| Stuðull hitauppstreymis | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Hitastöðugleiki batnaði um 7 sinnum |
| Hörku | Mohs 9.2 (næst á eftir demanti) | Mohs 7 | Slitþol batnaði um 30 sinnum |
| Álag á snertipunkt skífu | <5 MPa (hönnun með hálkuvörn) | > 20 MPa | Skriðhraði á skífum minnkaði um 80% |
| Losun agna | 0 agnir/cm² (hreinlætisflokkur 100) | >50 agnir/cm² | Mengun nálægt núlli |
Framúrskarandi árangur kísilkarbíðsflöguburðarins (SiC Wafer Carrier) stafar af einstökum efnisfræðilegum eiginleikum hans. Hér að neðan er ítarlegur samanburður á helstu eðlisfræðilegum breytum:
Þessir þættir þýða beint í bættri afköstum og lægri kostnaði í framleiðslu hálfleiðara, eins og sést á eftirfarandi:
Kostir varðandi hitauppstreymi: Breitt bandgap SiC (3.26 eV) tryggir stöðuga kristalbyggingu við 2000°C og kemur í veg fyrir hitauppstreymi. Mikil hitaleiðni (4.9 W/cm·K) gerir kleift að hita skífuna jafnar og útilokar grindargalla af völdum hitauppstreymis.
Vélrænn styrkur: 9.2 Mohs hörku þolir líkamleg áhrif meðan á ferlinu stendur og endingartími er meira en 10 sinnum meiri en hjá hefðbundnum kvarsflötum. Einstök hálfhringlaga raufarhönnun stýrir snertispennu skífunnar undir 5 MPa, sem í raun útilokar háhitastigsrennsli.
Efnafræðileg óvirkni: Þol gegn mjög ætandi lofttegundum eins og HF og HCl fer yfir 10,000 klukkustundir og engin mengun er viðhaldið í LPCVD, dreifingu, oxun og öðrum ferlum.
Umsóknir
Lykilhlutverk hágæða SiC skífubáts
Háhreinleika SiC skífubáturinn okkar er mikið notaður í eftirfarandi lykilframleiðsluferlum fyrir hálfleiðara:
Háhitaglæðing: Í framleiðslulínu SiC-skífuframleiðenda er háhitaglæðing lykilatriði til að virkja efni og gera við galla í grindinni. Háhitastöðugleiki SiC-skífubátsins tryggir einsleitni og skilvirkni glæðingarferlisins.
Vöxtur í efri hluta líkamans: Hvort sem um er að ræða kísill-byggða epitaxi eða kísillkarbíð-skífu-epitaxi, þá gerir hár hitþol og tæringarþol SiC-skífubátsins það að kjörnum burðarefni til að tryggja hágæða epitaxiallagsvöxt.
Dreifing: Í háhitadreifingarofni getur SiC-skífubáturinn í LPCVD-skífubátnum þolað langtíma háhitameðferð til að tryggja einsleita dreifingu dópunaratóma og mynda nákvæma rafmagnseiginleika.
Þunn filmuútfelling: Sérstaklega fyrir Lpcvd skífubátaforrit, hjálpar afar lítil agnalosun og framúrskarandi varmaleiðni SiC skífubáta til að fá hágæða og einsleita filmu.
Samhæfan búnað og ferlasamhæfni:
✔ Samhæft við almenna LPCVD ofna (eins og TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, o.s.frv.)
✔ Sérsniðnar skífuupplýsingar eins og 100 mm/150 mm/200 mm
✔ Styður lárétta og lóðrétta uppsetningu á vinnslubúnaði
SiC skífubáturinn frá Semixlab er kjörinn kostur til að bæta skilvirkni ferla og afurðaafköst og er leiðandi í háþróuðum lausnum fyrir hálfleiðaraskífur.
Þjónusta okkar
Vöruverslun Semixlab
Verslanir með Semixlab vörum
