Lofttæmispressuofn fyrir SiC kristalfræbindingu

Líming frækristalla er eitt af mikilvægustu ferlunum sem hafa áhrif á kristallavöxt. Semixlab hefur þróað sérhæfðan lofttæmispressubúnað fyrir límingu frækristalla, byggt á eiginleikum líminga frækristalla. Þessi búnaður dregur á áhrifaríkan hátt úr ýmsum göllum sem myndast við líminguna og bætir þannig afköst líminga frækristalla og lokagæði kristallanna.

Ⅰ. Kynning á frækristallabindingu með lofttæmispressu

1. Notað til að binda frækristalla áður en SiC kristallavöxtur hefst;

2. Límd fræ halda viðloðun við 2300°C án þess að losna, sem nær 100% loftbólulausri límingu með mikilli flatnæmi og hreinum yfirborðum skífunnar án óhreininda;

3. Hitabakkinn notar diskamótstöðuhitun, sem tryggir jafna hitadreifingu, örugga notkun og notendavæna meðhöndlun;

4. Þrýstingsskynjarar sem festir eru undir bakkanum sýna nákvæmlega þrýstinginn sem beitt er á vinnustykkið.

II. Yfirlit yfir virkni frækristalla tómarúmspressubúnaðar

Semixlab frækristalla lofttæmispressuofninn er hannaður fyrir lofttæmisaðstoðaða heitpressun á kísilkarbíðfrækristöllum.

1. Tvöfalt lag af vatnskældu málmhólfi dregur á áhrifaríkan hátt úr yfirborðshita ofnsins, lágmarkar hættur af völdum háhita og minnkar umhverfisáhrif;

2. Getur sjálfvirkt þrýstingsbeitingu og -haldi, stigvaxandi hleðslu og tilfærslu með sjálfvirkri stjórn;

3. Fjölbreytt stilling lofttæmiskerfa gerir kleift að velja mismunandi lofttæmisstig út frá kröfum ferlisins;

4. Jafn þrýstingsdreifing og nákvæmni við mikla hitastýringu;

5. Þrýstibeiting notar nákvæma vélræna þrýstikerfi fyrir nákvæma og stöðuga þrýstingsgjöf, sem tryggir örugga notkun og umhverfissamrýmanleika;

6. Alhliða samskeyti milli efri pressuhauss og þrýstistangar tryggir aðlögunarhæfa samsíða stöðu milli efri hauss og neðri bakka við pressun, sem tryggir jafna þrýstingsdreifingu;

7. Efri pressuhausinn inniheldur púðaþrýsting sem tryggir mjúka og milda kraftframleiðslu án höggs og kemur í veg fyrir að vinnustykkið brotni;

8. Hitaskynjarar sem eru samþættir í hitaflutningsplötuna og tengjast hitastýringunni, sem gerir kleift að stjórna hitastigi nákvæmlega og forrita;

9. Bæði brettið og efri pressuhausinn eru með einangrunarbúnaði til að lágmarka hitatap.

Ⅲ. Afköst og eiginleikar Semixlab Seed Crystal tómarúmspressunarbúnaðar

1. Stigvaxandi lofttæmisútdráttur með stýrðum dæluhraða;

2. Stórt hólf fyrir mikla möguleika á uppfærslum;

3. Stöðugur pressuhaus með sjálfvirkri notkun;

4. Þrýstingsaukning og losunarstýring með sjálfvirkri þrýstingshalla og uppskriftarstýringu;

5. Nákvæm hitastýring með forritanlegum hita- og þrýstihringrásum;

6. Sérsniðnar lofttæmis-, þrýstings- og hitastigsbreytur fyrir fjölbreytt límingarferli;

7. Þétt líming með engum loftbólum;

8. Mjög lágt brothlutfall — nánast engin brot af völdum tækisins;

9. Samhæfni: Styður 6-12 tommu skífur;

10. Hámarksþrýstingur niður á við: 1.6 T;

11. Hámarkslofttæmi: 5 Pa (kalt);

12. Hitastigsjafnvægi upphitunarpalls: <±3 ℃, σ<4 (við 200 ℃);

13. Þrýstingssveiflur: <0.5%.

Færibreytur heitpressuofns fyrir fræbindingu