0200-06508 Keramikskjöldur að ofan 300 mm

Í háþróuðum plasmavinnslukerfum fyrir hálfleiðara gegna íhlutir í hólfinu mikilvægu hlutverki í að viðhalda stöðugleika ferlisins, mengunarstýringu og endingu búnaðarins. 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm er nákvæmnisverkfræðilegur keramikhólfsíhlutur hannaður fyrir afkastamikil plasmaumhverfi í framleiðslu hálfleiðara.

Hjá Semixlab bjóðum við upp á hágæða hálfleiðara keramikíhluti sem eru hannaðir fyrir krefjandi PECVD, plasmaetsun og útfellingarforrit, sem hjálpa verksmiðjum að bæta áreiðanleika hólfanna og samræmi í skífuvinnslu.

Vara Yfirlit

Keramikskjöldur er verndandi keramikhluti sem er settur upp í efri hluta hálfleiðaraferlisklefa, venjulega nálægt plasmaframleiðslu- og gasdreifingarsvæðum.

Helsta hlutverk þess er að verja hólfið og innri málmbyggingar gegn beinni plasmaútsetningu, efnatæringu og uppsöfnun útfellinga við framleiðsluferla hálfleiðara.

0200-06508 keramikhlífin, 300 mm, er hönnuð fyrir háþróuð 300 mm skífuvinnslukerfi þar sem plasmastöðugleiki, lítil agnamyndun og mengunarstjórnun eru nauðsynleg.

● Helstu eiginleikar keramikhlífar

● Verndaðu yfirborð hólfsins gegn plasmaeyðingu

● Minnkaðu mengun agna inni í hólfinu

● Viðhalda stöðugu RF og plasma umhverfi

● Bæta hreinleika í hólfinu og endurtekningarhæfni ferla

● Lengja viðhaldstímabil búnaðar og líftíma íhluta

Þar sem uppbygging hálfleiðarabúnaðar heldur áfram að minnka hafa íhlutir í hólfvörn eins og keramikhlífar orðið sífellt mikilvægari fyrir aukna afköst og stöðugleika ferla.

Dæmigert hlutverk í hálfleiðarakerfum

AMAT 0200-06508 keramikhlífin er almennt notuð í AMAT plasmavinnslubúnaði (Applied Materials) fyrir 300 mm skífuframleiðslu.

Þessi keramikíhlutur er settur upp í efra hólfinu og virkar sem mikilvægur verndarhluti sem snýr að plasma í umhverfi með mikilli þéttni plasmavinnslu.

Lykilhlutverk eru meðal annars:

1. Plasmavörn

Keramikskjöldurinn einangrar hólfbygginguna frá öflugri plasmaárás og hjálpar til við að koma í veg fyrir:

● rof á vegg hólfsins

● málmmengun

● yfirborðsskemmdir

2. Agnaminnkun

Háþróuð framleiðsla hálfleiðara krefst umhverfis með afar fáum ögnum.

Keramikhlífin hjálpar til við að lágmarka:

● efnissprautun

● flögnun

● plasma-framkallað rusl

3. Stöðugleiki RF og plasma

Vegna stöðugra rafsvörunareiginleika sinna stuðlar keramikhlífin að:

● stöðugur plasmaþéttleiki

● samræmd RF hegðun

● bætt einsleitni í ferlinu

4. Framlenging á líftíma hólfsins

Með því að vernda mikilvægar byggingareiningar fyrir beinum plasmaárásum hjálpar keramikhlífin til við að draga úr sliti á einingunum og viðhaldstíðni, sem bætir spenntíma búnaðar og rekstrarhagkvæmni.

Að lokum má segja að 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm sé íhlutur til að vernda hólf úr hágæða áloxíði úr keramik sem er hannaður til að bæta stöðugleika plasma, draga úr mengun og auka áreiðanleika ferla í háþróuðum framleiðslukerfum fyrir hálfleiðara.

Af hverju að velja Semixlab?

Semixlab sérhæfir sig í afkastamiklum hálfleiðarakeramikíhlutum fyrir plasmavinnslu og háþróað umhverfi fyrir skífusmíði.

Við bjóðum upp á:

● Háhreinleika keramikhólfshlutar

● Varahlutir fyrir nákvæma hálfleiðara

● Sérsniðnar plasmaþolnar keramiklausnir

● Áreiðanleg stuðningur við hálfleiðaraframleiðendur og framleiðsluforrit

Vörur okkar eru hannaðar til að uppfylla strangar kröfur nútíma framleiðsluferla hálfleiðara. Við vonum innilega að verða langtíma samstarfsaðili þinn í Kína.