0200-10377 Hringlaga stakur 195 mm DPS hólf

Þessi keramikhringhluti er framleiddur úr hágæða hálfleiðara-gæða keramikefnum og með nákvæmri vinnslutækni og býður upp á einstaka mótstöðu gegn plasmaeyðingu, hitahringrás og agnamyndun í árásargjarnu þurretsunarumhverfi.

AMAT 0200-10377 hringlaga 195 mm DPS hólfið er nákvæmur keramikhringur sem er aðallega notaður í AMAT DPS (Decoupled Plasma Source) kerfum fyrir 200 mm skífuvinnslu.

Helstu eiginleikar:

● Keramikefni með mikilli hreinleika

● Frábær samhæfni við RF plasma

● Lítil mengun og agnamyndun

● Yfirburðaþol fyrir plasmarof

● Mikil vélræn og hitastöðugleiki

● Nákvæm vinnsla fyrir samþættingu DPS-klefa

Hlutverk í AMAT DPS kerfum

Í AMAT DPS plasmaetsunarkerfum virkar hringlaga 195 mm keramikíhlutinn sem mikilvægur plasmastýringar- og hólfverndarhluti.

Plasma brún stjórnun

Keramikhringurinn hjálpar til við að hámarka plasmadreifingu nálægt brún skífunnar, bætir einsleitni etsunar og lágmarkar frávik í brúnferlinu við plasmavinnslu með mikilli þéttleika.

ESC og kammervörn

Hringurinn er settur upp í kringum rafstöðueiginleika klemmu (ESC) og virkar sem verndarhindrun gegn árásargjarnum plasmaefnasamböndum, sem hjálpar til við að draga úr rof í hólfinu og lengir líftíma íhluta.

RF plasmastöðugleiki

Með stöðugum rafseguleiginleikum stuðlar keramikhringurinn að bættri RF-tengingu og plasmastöðugleika inni í DPS-hólfinu.

Minnkun mengunar

Hrein keramikuppbygging þess lágmarkar agnamyndun og málmmengun og styður við háþróaðar hreinleikakröfur fyrir hálfleiðaraferli.

Dæmigert notkunarsvið í hálfleiðaraferlum

AMAT 0200-10377 hringlaga staka 195 mm DPS hólfið er mikið notað í háþróaðri þurretsun og plasmavinnslu, þar á meðal:

Rafdreifingaretning: Styður stöðuga plasmahegðun við etsunarferla á oxíð- og díelektrískum lögum.

Oxíð- og snertietsun: Hjálpar til við að bæta einsleitni etsingar og stjórna brúnum skífunnar í snertingu og í gegnum myndunarferla.

Málm etsun: Veitir vernd fyrir hólfið og stöðugleika í ferlinu í plasmaetsunarumhverfi málma.

Ítarleg plasmavinnsla: Hentar fyrir notkun með mikilli þéttleika plasma sem krefst lítillar agnamengun og stöðugrar RF-afkösts.

200 mm hálfleiðaraframleiðsla: Bjartsýni fyrir AMAT DPS kerfi sem vinna úr 8 tommu skífum í hálfleiðaraverksmiðjum.

Af hverju Semixlab?

Semixlab sérhæfir sig í háþróuðum hálfleiðarakeramikíhlutum fyrir plasmaetsun, útfellingu og varmavinnslubúnað.

Við bjóðum upp á:

● Keramikefni í hálfleiðaraflokki

● Nákvæmnivinnslugeta

● Hálfleiðarahlutir sem eru samhæfðir við OEM

● Stöðugt gæðaeftirlit

● Sérsniðnar keramiklausnir

Markmið okkar er að styðja hálfleiðaraframleiðendur með áreiðanlegum og afkastamiklum efnislausnum fyrir næstu kynslóðar búnaðar til framleiðslu á skífum.