Hitaskjöldur kvars

Kvarshitahlífin, úr mjólkurhvítum kvarsi, er háþróaður hitastýringarbúnaður sem er sniðinn að notkun í SiC epitaxískum kerfum sem þola háan hita. Í samanburði við gegnsætt kvars býður þetta efni upp á betri einangrun, bættan stöðugleika í ferlum og betri hagkvæmni — sem gerir það tilvalið fyrir hitahlífar í MOCVD og CVD hvarfklefum.

Ⅰ. Efnissamsetning og helstu eðliseiginleikar

● Efni: Mjólkurhvítt kvars (tilbúið sambrætt kísil með dreifðum örbólum og kornamörkum)

● Litur og útlit: Gegnsætt hvítt

● Varmaleiðni: Lægri en gegnsætt kvars vegna innri loftbólubyggingar

● Vinnuhitastig: Stöðugt allt að 1700°C

● Varmaþenslustuðull: ~0.55 × 10⁻⁶ /K (sama og gegnsætt kvars)

● Mikil hitauppstreymisþol

● Framúrskarandi efnafræðilegur hreinleiki: Snefilmagn af óhreinindum (t.d. Al, Na) haldið undir 1 ppm

Ⅱ. Lykilhlutverk í SiC epitaxískum forritum

Mjólkurhvítt kvars er sérstaklega valið fyrir SiC epitaxial hvarfefni vegna eftirfarandi mikilvægra kosta:

(1) Bætt einangrunargeta

Dreifing innrauðrar geislunar: Innri loftbólur og kornamörk dreifa innrauðum geislum margfalt, sem dregur verulega úr varmaflutningi geislunar. Býður upp á 30–50% betri einangrun en gegnsætt kvars við 1500–1700°C aðstæður.

Lágt varmaleiðni: Dreifing örkúlna dregur úr varmatapi vegna leiðni og hámarkar heildarvarmanýtni.

(2) Háhitaþol og stöðugleiki

Varmaáfallsþol: Þó að það deili sama útvíkkunarstuðli og tært kvars, hjálpar örbygging þess til við að taka upp staðbundið varmaálag - tilvalið fyrir hraðar upp- og niðurfærsluferli.

Kristöllunarþol: Í andrúmsloftum með hátt hitastig sem lækkar (t.d. H₂) er mjólkurkvars ónæmara fyrir glermyndun í α-kristóbalít, sem lágmarkar hættu á brotum.

(3) Samrýmanleiki ferla og útfellingarstýring

Minnkuð útfelling sníkjudýra: Ógegnsæi þess dregur úr staðbundinni ofhitnun, sem kemur í veg fyrir ótímabæra niðurbrot forvera (t.d. SiH₄, C₃H₈) á yfirborði skjaldar.

Jafnt hitastigssvið: Dreifingarhegðun stuðlar að jafnri hitadreifingu yfir hvarfsvæðið, sem er mikilvægt til að ná einsleitni í epitaxiallaginu í SiC aflgjafabúnaði.

(4) Hagkvæmni

Lægri efniskostnaður: Mjólkurhvítur kvars er yfirleitt hagkvæmari en gegnsætt kvars með afar háum hreinleika, sem gerir það hentugt sem neysluvara til varmahindrunar.

(5) Viðhald og atriði sem þarf að hafa í huga

Hreinleikaábyrgð: Tryggið afar lágt óhreinindastig (Al, Na < 1 ppm) til að koma í veg fyrir mengun á yfirborði SiC-hjúpsins.

Líftímastjórnun: Eftir langtímanotkun (venjulega >1000 klukkustundir) getur örkúlumyndun dregið úr hitauppstreymi — mælt er með reglulegri skiptingu.

Dæmigert Umsóknir

✔SiC MOCVD og CVD hvarfefni

✔Epitaxial vöxtur SiC aflgjafa

✔Háhitadreifingar- og útfellingarklefar

✔Hitavörn í lofttæmis-/óvirkum gasumhverfi