Kvarshringur 150mm

Sem plasma-útsettur íhlutur er kvarshringurinn hannaður til að starfa í umhverfi með mikla orku en viðhalda samt stöðugleika í burðarvirki og samræmi í ferlinu.

Lykilvöruupplýsingar

Efni og kostir

AMAT kvarshringurinn, 150 mm, er framleiddur úr bræddu kvarsi (SiO₂) í hálfleiðaraflokki, efni sem er víða þekkt fyrir framúrskarandi frammistöðu sína í plasmavinnsluumhverfum.

Helstu kostir samrunins kvars:

Mjög lítil mengun

Háhreint kvars inniheldur afar lítið magn af málmóhreinindum, sem lágmarkar hættu á mengun skífa og styður háþróaða staðla fyrir hálfleiðaraframleiðslu.

Frábær plasmaþol

Kvars býður upp á sterka mótstöðu gegn jónaárásum og plasmaeyðingu, sem gerir það hentugt til langtímanotkunar í sputter etch og plasmaklefum.

Hár hitastöðugleiki

Efnið viðheldur byggingarheilleika sínum við hátt hitastig og hraða hitabreytingar, sem tryggir stöðuga frammistöðu meðan á vinnslu stendur.

Rafmagns einangrun

Þar sem kvars er óleiðandi efni hjálpar það til við að stöðuga rafsviðið innan hólfsins og stuðlar að jafnri plasmadreifingu.

Efnafræðileg tregða

Kvars er ónæmt fyrir hvarfgjörnum lofttegundum sem notaðar eru í hálfleiðaraferlum, sem dregur úr niðurbroti og lengir líftíma íhluta.

Þessir eiginleikar gera sambræddan kvars að kjörnu efni fyrir hólfíhluti sem verða fyrir plasma og háum hita.

Virkni inni í hálfleiðarabúnaði

AMAT kvarshringurinn 150 mm gegnir nokkrum mikilvægum hlutverkum inni í plasmavinnsluklefum og hefur bein áhrif á stöðugleika ferlisins og gæði skífna.

1. Plasmaþétting og stjórnun

Kvarshringurinn hjálpar til við að skilgreina plasmamörkin, stjórna jónadreifingu og stöðuga hegðun plasmans innan hólfsins. Þetta stuðlar að endurtekningarhæfum og samræmdum ferlisskilyrðum.

2. Hagnýting á brún einsleitni

Hringurinn er staðsettur nálægt brún oblátunnar og gegnir mikilvægu hlutverki í:

● Stjórnun plasmaþéttleika við jaðar skífunnar

● Að draga úr áhrifum á brún

● Að bæta einsleitni etsingar eða útfellingar

Þetta er nauðsynlegt til að viðhalda stjórn á gagnrýninni vídd (CD) og heildarafköstum skífna.

3. Verndun hólfsins

Sem fórnarþáttur gleypir kvarshringurinn:

● Sprautað efni

● Aukaafurðir við etsun

● Plasmaútsetning

Þetta hjálpar til við að vernda mikilvæga íhluti hólfsins eins og málmveggi, fóðringar og rafstöðueiginleika gegn skemmdum og mengun.

4. Aukin stöðugleiki ferlis

Með því að viðhalda samræmdri rúmfræði og efniseiginleikum styður kvarshringurinn:

● Stöðugt gasflæðismynstur

● Stýrð plasmavíxlverkun

● Minni agnamyndun

Þetta leiðir að lokum til bættrar endurtekningarhæfni ferla og styttri niðurtíma.