EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ógegnsæjar samrunnar kvars hálfmánahlutar fyrir MOCVD kerfi
Ógegnsæjar sambræddar hálfmánahlutar úr kvarsi (efri og neðri burðarrör/hringir) frá Semixlab eru smíðaðir til að takast á við mikilvægar áskoranir við háan hita sem finnast í MOCVD og LPE hvarfklefum. Þessir hálfmánahlutar eru framleiddir með okkar eigin rafsamræðuferli, sem gefur þeim verkfræðilega örkúlulaga innri uppbyggingu sem dreifir innrauðu (IR) ljósi á áhrifaríkan hátt og veitir varmavörn.
Lýsing
Vara Yfirlit
Í samsettri hálfleiðaraepitaxíu (GaN/SiC) er afköst skífna mjög háð einsleitni í varmasviði og nákvæmri geislunarstjórnun. Sem nákvæmir flutningsaðilar og gasflæðisstýrandi samsetningar vernda Semixlab Opaque Fused Quartz Half-Moon Components viðkvæma hólfhluta, stöðuga hitastigshalla og draga úr agnamengun í öfgafullu rekstrarumhverfi allt að 1200°C.
Helstu eiginleikar og tæknilegir kostir
● Bætt varmavörn með Mie-dreifingu: Staðlað glært kvars leyfir innrauðum geislum að fara beint í gegn, sem skapar mikla varmahalla yfir hvarfsvæðið. Ógegnsætt kvars frá Semixlab inniheldur þétta fylki af örsmáum loftbólum. Þessar örbólur virka sem innri endurskinsmerki, dreifa varmageislun til að jafna varmadreifingu og lækka staðbundið varmaálag um 20% til 30% – þetta dregur einnig verulega úr hættu á sprungum í íhlutum.
● Mjög lágt hýdroxýlinnihald (<5 ppm OH) fyrir framúrskarandi stífleika í burðarvirki: Yfir 1100°C getur hitamýking og vélræn skrið valdið stíflum í hólfinu og lofttæmistapi. Með því að halda hýdroxýlinnihaldi undir 5 ppm viðhalda hálfmánahlutar okkar framúrskarandi seigju og víddarstöðugleika við háan hita, sem tryggir mjúka snúning og stöðuga gasinnleiðingu í gegnum tengdu kvarsrörin.
● Þétting undir yfirborði svitahola (eldpússuð þétting): Óinnsiglað, ógegnsætt kvars hefur tilhneigingu til að taka í sig málmmengunarefni (Na, K, Fe, Cu) og vinna úr sýrum eins og svampi. Sérhver kvarsíhlutur frá Semixlab fær sérhæfða logapússunarmeðferð við háan hita. Þetta býr til þétt, ógegndræpt ytra lag úr glerfasa sem kemur í veg fyrir efnafrásog við hreinsun, forðast mengun af völdum annarrar skífu og lengir endingartíma íhlutarins.
● Mikill efnafræðilegur hreinleiki (<15 ppm heildarmálmar): Efnið okkar er framleitt úr afar hreinum náttúrulegum kvarssandi og unnið samkvæmt ströngu ISO 9001 gæðaeftirliti. Heildarmálmóhreinindi eru undir 15 ppm, staðfest með GDMS prófunum til að vernda epitaxiallögin þín gegn jónadreifingu sem minnkar uppskeru.
Af hverju að velja Semixlab tækni?
● Fræðileg rannsóknar- og þróunararfleifð CAS: Stofnað af fyrrverandi prófessorum við kínversku vísindaakademíuna (CAS) og sameinar djúpa grundvallar eðlisfræði efnis og iðnvæðingu í miklu magni.
● Rekjanleiki GDMS fyrir alla framleiðslulotur: Hver framleiðslulota inniheldur heildstæða GDMS massagreiningarskýrslugerð fyrir algjört gagnsæi í gæðum.
● Bein nákvæmnisvinnsla: Innri CNC-tækni tryggir nákvæma röðun, mjúka gasflæðisdynamík og míkrónómagn.
Tilbúinn að hámarka MOCVD hitasviðið þitt?
Hafðu samband við söluteymi okkar í verkfræðideild til að fá sérsniðnar verkfræðiteikningar og GDMS prófunarsett.
upplýsingar
| Efnisleg eign | Opinber staðall Semixlab | Viðmiðunarstaðall iðnaðarins | Kostir ferlisins |
| Hreinleiki (heildarmálmar) | <15 ppm | <20 ppm | Kemur í veg fyrir dreifingu Fe/Cu/Li jóna inn í epilögin |
| Hýdroxýl (OH) innihald | <5 ppm | <10 ppm | Kemur í veg fyrir skrið og aflögun burðarvirkis >1100°C |
| Varmaþenslustuðull (CTE) | 0.45 × 10⁻⁶ /°C | 0.40 – 0.50 × 10⁻⁶ /°C | Framúrskarandi hitaáfallsþol |
| Varmaleiðni (20°C) | 1.39 W/m·K | 1.30 – 1.50 W/m²·K | Frábær einangrun fyrir hitastýringu |
| Hámarks vinnuhiti | 1200°C (samfellt) | 1100 ° C | Lengri líftími í samfelldum framleiðsluferlum |
Umsóknir
Forrit og samhæfni við hvarfa
Hálfmánakvarsíhlutir Semixlab eru nákvæmnisfræsaðir til eftirfarandi nota:
● MOCVD Epitaxy: Efri burðarhlutir fyrir stjórnun á fylgihlutum í hólfinu og hitastýringu.
● LPE og gasknúin snúningskerfi: Neðri hálfmánaíhlutir tengdir kvarsdrifrörum til að stýra snúningsgasflæði.
● Framleiðsla þriðju kynslóðar hálfleiðara: Mikilvæg hitavörn í GaN-á-Si, GaN-á-safír og SiC epitaxískum kerfum.
● Samhæfni við OEM-innstungu: Nákvæmlega fræst með þröngum vikmörkum (±0.1 mm) fyrir óaðfinnanlega samþættingu við leiðandi alþjóðlega palla, þar á meðal Aixtron, Veeco, AMEC og LPE lárétta hvarfstöðvar.
Þjónusta okkar
