Hreinleiki porous grafít með mikilli hreinleika

Hreinleiki porous grafít er mikilvægt efni fyrir háþróaða hálfleiðaraframleiðslu, þar sem einstakur hitastöðugleiki þess, afar lítið mengunarstig og samræmi í ferlinu eru afar mikilvæg. Hreinleikar porous grafítlausnir Semixlab eru sérstaklega hannaðar fyrir háhita- og mengunarnæmar hálfleiðaraferli.

Í epitaxískum ferlum er hágæða porous grafít mikið notað í lykilhlutum eins og undirlagshaldurum, skífuburðarefnum, gasdreifingarmannvirkjum og varmasviðsþáttum. Við epitaxískan vöxt Si, SiC og GaN eru nákvæm hitastigsjöfnun og stöðugt gasflæði mikilvægir þættir fyrir stjórnun á filmuþykkt, einsleitni í lyfjagjöf og gallavörn. Porous örbygging Semixlab grafítsins gerir kleift að dreifa hita jafnari og stjórna gasdreifingu yfir yfirborð skífunnar, og dregur þannig úr óstöðugleika jaðarlagsins og áhrifum brúna.

Í dreifingar- og oxunarferlum sem krefjast viðvarandi notkunar yfir 1000°C, þjónar hreinn, porous grafít sem áreiðanlegt byggingar- og stuðningsefni fyrir skífubáta, fóðringar og einangrunaríhluti. Í samanburði við þéttan grafít dregur porous uppbygging þess úr hitastreitu og aflögun við endurtekna hitahringrás, sem eykur víddarstöðugleika og lengir líftíma íhluta. Meðfædd efnaóvirkni þess og lágt óhreinindainnihald hjálpar til við að viðhalda hreinu ferlisumhverfi, styður við stranga stjórn á dreifingarferlum efnisins og gæðum oxíðfilmu, en lágmarkar jafnframt hættu á agnamyndun og krossmengun.

Fyrir CVD, LPCVD og PECVD ferla gegnir hágæða porous grafít mikilvægu hlutverki í hitara, skífuflutningsbúnaði og innri íhlutum hólfsins sem verða fyrir hvarfgjörnum lofttegundum og háum hita. Framúrskarandi varmaleiðni efnisins tryggir hraðan og jafnan varmaflutning, en porous uppbygging þess gerir kleift að fanga aukaafurðir úr útfellingum með stýrðri hætti, sem lágmarkar flögnun og losun agna við langvarandi notkun búnaðarins. Þetta stuðlar beint að auknum stöðugleika ferlisins, lengri viðhaldstímabilum og aukinni rekstrartíma búnaðarins.

Háhreinleiki, porous grafít frá Semixlab er framleiddur undir ströngu gæðaeftirlitskerfi, með nákvæmri stjórnun á vali hráefna, hreinsun og örbyggingu. Þegar þörf er á lengri endingartíma eða notkun í krefjandi efnaumhverfi, er þessi vara samhæf við háþróaðar hlífðarhúðanir eins og SiC eða TaC. Með því að nýta einstakan sveigjanleika í hönnun, vinnsluhæfni og háþróaða tækni í hálfleiðarahúðun er hægt að sníða lausnir okkar nákvæmlega að sérstökum kröfum hálfleiðarabúnaðarpalls þíns og vinnsluhnúta. Við hlökkum einlæglega til að verða langtíma samstarfsaðili þinn í Kína.