TaC húðaður grafíthringur

Semixlab TaC húðaður grafíthringur er mikilvægur íhlutur sem aðallega er notaður í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara. Hann samanstendur af mjög hreinu grafítundirlagi sem er vandlega húðað með lagi af tantalkarbíði (TaC). Þessi háþróaða húðun veitir framúrskarandi yfirborð sem verndar undirliggjandi grafít gegn hörðu efnaumhverfi og háum hita.

TaC-húðaðir grafíthringir okkar eru lykilþættir í ferlum eins og efnafræðilegri gufuútfellingu (CVD), eðlisfræðilegri gufuútfellingu (PVD) og plasmaetsun. Þeir þjóna sem verndarhindrun, leiðarhringur eða lykilburðarhluti í hvarfhólfinu og tryggja heilleika og gæði loka hálfleiðaraþynnunnar.

Notkun í hálfleiðaraferlum

Sterkir eiginleikar TaC-húðaðra grafíthringa okkar fyrir framleiðslu hálfleiðara gera þá ómissandi í nokkrum lykilforritum.

1. Chemical Vapor Deposition (CVD)

Í CVD-ferlum, þar sem lofttegundir hvarfast við hátt hitastig til að setja þunnar filmur á skífur, er hvarfklefinn mjög árásargjarnt umhverfi. CVD TaC-húðaðir hringir okkar eru notaðir sem móttökuhringir, leiðarhringir og fóðrunarhringir. Þeir veita framúrskarandi vörn gegn ætandi lofttegundum og efnaárásum, koma í veg fyrir agnamengun og tryggja jafna filmuþykkt yfir skífuna. Mikil hitastöðugleiki TaC gerir kleift að nota stöðugt jafnvel við mikinn hita.

2. Líkamleg gufuútfelling (PVD)

Fyrir PVD-spúttrun og rafgeislauppgufun þjóna hringirnir okkar sem nauðsynlegir íhlutir í lofttæmishólfinu. Þeir virka sem skjöldurhringar eða leiðarhringar sem vernda aðra viðkvæma hluti gegn spúttrun og plasmaárásum. Ótrúleg hörka og þéttleiki TaC-húðunarinnar gerir hana mjög ónæma fyrir agnaeyðingu, sem dregur verulega úr hættu á niðurbroti íhluta og síðari galla í skífum.

3. Plasmaetsun

Við plasmaetsun er mjög hvarfgjarnt plasma notað til að fjarlægja efni sértækt úr skífunni. Þetta ferli veldur því að íhlutir ...

Kostir Semixlab TaC húðaðra grafíthringa

1. Frábær ending

● Þétt CVD TaC húðun þolir plasma-, efnaárásir og vélrænt slit miklu betur en ber grafít.

2. Mikil hreinleiki fyrir hálfleiðaraframleiðslu

●Framleitt með grafíti með afar lágu óhreinindainnihaldi og TaC-húð með mikilli hreinleika til að lágmarka jónmengun.

3. Nákvæm vinnsla og húðunarstýring

● Háþróuð vinnsla fyrir þröng vikmörk; jafn húðþykkt fyrir stöðuga afköst.

4. Sérstillingar og verkfræðiaðstoð

● Möguleikar á mismunandi þvermál, þversniðsprófílum, húðþykktum og þéttieiginleikum.

● Tæknileg ráðgjöf fyrir ferlisbundnar hönnunar.

5. Hröð frumgerðasmíði og alþjóðleg framboð

● Hraðvirk sýnishornsframleiðsla, alþjóðleg flutningsþjónusta og áreiðanlegur afhendingartími.