CVD SiC húðaður grafít RTP bakki

RTP kerfin setja bakka fyrir skífur í gegnum kreppuna. Í hverjum hringrás hitnar bakkinn upp í flýti og kólnar síðan jafn hratt – og það gerist þúsund sinnum á líftíma hans. Ef efnið eða framleiðsluferlið er ekki vandlega stjórnað getur þetta endurtekna hitaáfall hægt og rólega valdið því að bakkinn afmyndast eða missir lögun sína.

Aðferð okkar snýst ekki bara um að þola hátt hitastig – hún snýst um að tryggja að skífurnar haldist vel studdar og jafnt hitaðar, hring eftir hring.

Af hverju SGL6510 grafít?

Hvers vegna veljum við SGL6510? Vegna þess að undirlagið er burðarás alls bakkans. SGL6510 er jafnstöðugt grafít með einstaklega einsleitri uppbyggingu, mikilli varmaleiðni og lágri varmaþenslu – sem allt hjálpar til við að draga úr innri spennu og halda bakkanum víddarstöðugum til langs tíma. Það er sérstaklega mikilvægt fyrir þunna bakka sem gangast undir miklar hitabreytingar.

Eftir að við höfum unnið grafítið í þá lögun sem óskað er eftir, berum við á það þétta CVD SiC húð. Þessi húðun verndar yfirborðið gegn oxun, tæringu og sliti og heldur einnig agnamyndun í lágmarki.

Flatleiki skiptir meira máli en hitastig

Reyndar gera flestir ráð fyrir að stóra áskorunin sé hvort bakkinn þoli 700°C. En það er ekki raunverulega vandamálið – höfuðverkurinn er aflögun. Þunnur grafítbakki getur afmyndast við vinnslu, húðun eða einfaldlega við endurtekna upphitun og kælingu. Jafnvel lítil breyting á lögun getur haft áhrif á hversu vel skífan liggur og hversu jafnt hitinn dreifist.

Þess vegna er stjórnun á flatnæmi ein af forgangsverkefnum okkar í allri framleiðslu. Við notum hágæða SGL6510 grafít með einsleitri innri uppbyggingu, við höldum vinnsluþoli þröngum fyrir húðun, við notum lágspennu CVD SiC ferli og við athugum flatnæmi eftir hvert stórt framleiðslustig. Niðurstaðan: flestir bakkar okkar ná flatnæmi ≤0.50 mm og margir verða enn flatari.

Efni árangur

CVD SiC húðunin er ekki bara þunn skel – hún myndar þétta, harða hindrun sem lengir endingartíma grafítsins undir. Í raunverulegri notkun þýðir það færri agnir, framúrskarandi mótstöðu gegn oxun og tæringu og góða hitaáfallsþol. Þessir bakkar eru hannaðir til að endast í hreinherbergjum fyrir hálfleiðara.

Staðlað húðþykkt okkar er 100 ± 20 μm, en við getum aðlagað það ef notkun þín kallar á eitthvað annað.

Af hverju að velja Semixlab?

Að búa til áreiðanlegan RTP-bakka snýst um meira en bara að húða grafít með SiC. Þegar bakkinn er þunnur skiptir hvert smáatriði máli – nákvæmni í vinnslu, húðunarálag og lokaflattleiki. Við höfum unnið með nákvæmnisgrafít og CVD SiC-húðanir í mörg ár, þannig að við skiljum hvernig á að vega og meta þessa þætti. Endanleg niðurstaða er bakki sem heldur lögun sinni, helst hreinn og veitir þér langan endingartíma í framleiðslu.

● Vara: CVD SiC húðaður grafít RTP bakki

● Grunnefni: SGL6510 ísostatískt grafít

● Yfirborðshúðun: CVD kísillkarbíð (SiC)

● Þykkt húðunar: 100 ± 20 μm (sérsniðið)

● Hámarks samfelld notkunarhitastig: allt að 1400°C

● Dæmigert ferlishitastig: um 700°C

● Flatleiki: ≤0.20 mm (háð hönnun)

● Sérsniðin hönnun: í boði

Þú finnur þessa bakka í ýmsum hálfleiðaraferlum – RTP, RTA, almennum stuðningi við háhitaskífur og framleiðslu í hreinum herbergjum. Helsta hlutverk þeirra er einfalt: að halda skífunni örugglega og flytja hita jafnt í gegnum allan hitaferilinn.

1. Hvers vegna skiptir flatnin svona miklu máli?

Þar sem bakkinn styður skífuna beint við hraða upphitun og kælingu, gæti skífan, jafnvel þótt hún beygist örlítið, ekki setið jafnt, sem getur haft áhrif á hitadreifingu og endurtekningarhæfni ferlisins.

2. Getur bakkinn gengið stöðugt við 700°C?

Já – 700°C er innan þægindarammans. Bakkinn er hannaður fyrir samfellda notkun allt að um 1400°C, svo 700°C er ekkert vandamál.

3. Hvaða húðþykkt býður þú upp á?

Staðallinn okkar er 100 ± 20 μm, en við getum sérsniðið hann ef notkun þín þarfnast annarrar þykktar.

4. Býrðu til sérsniðna RTP-bakka?

Algjörlega. Við getum unnið út frá teikningum þínum til að framleiða bakka með sérstökum málum, húðþykkt, kröfum um flatneskju og öðrum forskriftum sem þú þarft.