EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Porous Tantal Carbide (TaC) húðað grafít
Semixlab Porous TaC húðað grafít sameinar hágæða grafít undirlag með háþróaðri TaC húðunartækni, sem veitir einstakan hitastöðugleika, efnaþol og stýrða gegndræpi. Það er hannað fyrir SiC kristalvöxt og hálfleiðara epitaxíu og tryggir áreiðanlega afköst við mjög háan hita.
Lýsing
Ef þú hefur einhvern tíma notað SiC kristalvaxtarofn, þá veistu að deiglan og nærliggjandi hlutar hennar fá mikið á sig. Hátt hitastig, kísillgufa, hitahringrás – þetta er erfitt umhverfi. Einn íhlutur sem oft er gleymdur en gegnir mikilvægu hlutverki er bakkinn sem er undir öllu. Hjá Semixlab búum við þennan bakka úr gegndræpu grafíti og húðum hann síðan með tantalkarbíði (TaC) með CVD. Af hverju? Vegna þess að venjulegt grafít þolir ekki lengi tæringu kísils og fullkomlega þétt keramik getur truflað gasflæði. Gagndræpa uppbyggingin veitir þér stýrða gegndræpi fyrir gufuflutning, en TaC húðunin gefur þér sterkt, efnafræðilega óvirkt yfirborð sem hvarfast ekki við kísillinn eða losnar agnir.
Product Features
● Háþróuð TaC húðun fyrir notkun við mjög hátt hitastig
● Bjartsýni á porous uppbyggingu fyrir hitastýringu
● Bætt gæði SiC kristal með mengunarstýringu
● Frábær hitaáfallsþol
● Sérsniðin hönnun fyrir mismunandi vaxtarkerfi
Skýringarmynd af porous tantal karbíði TaC
Efni fyrir forhvarf
| Dæmigert eðlisfræðilegt eðli porous grafíts | |
| ltem | Breytu |
| Magnþéttleiki | 0.89 g / cm2 |
| Þjöppunarstyrkur | 8.27 MPa |
| Beygja styrkur | 8.27 MPa |
| Togstyrkur | 1.72 MPa |
| Sértæk viðnám | 130Ω-íX10-5 |
| Gleði | 50% |
| Meðalstærð svitahola | 70um |
| Hitaleiðni | 12W/M*K |
Hvar nota menn þessa bakka?
● SiC einkristallavöxtur (PVT)
● Varmasviðshlutar hálfleiðara
● Epitaxi og háþróuð efnisvinnsla
Af hverju Semixlab?
Við erum ekki almenn vélræn vinnslustöð. Við sérhæfum okkur í varmavinnsluefnum fyrir samsetta hálfleiðara. Við höfum unnið með SiC-framleiðendum í mörg ár, þannig að við skiljum vandamálin - gufutæringu, viðloðun húðunar og varmajafnvægi. CVD-ferlið okkar er strangt stjórnað og við gerum fulla skoðun á hverri lotu. Auk þess bjóðum við upp á hraða frumgerðargerð og alþjóðlega sendingu, þannig að þú þarft ekki að bíða í marga mánuði eftir prufuhluta.
upplýsingar
| Eðliseiginleikar TaC húðunar | |
| Þéttleiki | 14.3 (g/cm³) |
| Sérstök losun | 0.3 |
| Varmaþenslustuðull | 6.3*10-6/K |
| hörku (HK) | 2000 HK |
| Resistance | 1 × 10-5 Óm*cm |
| Hitastöðugleiki | <2500 ℃ |
| Grafítstærð breytist | -10~-20um |
| Húðun þykkt | ≥20um dæmigert gildi (35um±10um) |
FAQ
1. Hvað er það?
Götótt grafítbakki húðaður með TaC, notaður inni í SiC vaxtarofnum.
2. Hvers vegna TaC frekar en bert grafít?
Miklu betri viðnám gegn kísilgufu, minni agnalosun, lengri líftími.
3. Hvers vegna gegndræpt?
Hjálpar til við gasdreifingu og hitastigsdreifingu – gefur þér stöðugra vaxtarumhverfi.
4. Geturðu sérsmíðað það?
Já – stærðir, gegndræpi, húðþykkt og lögun til að passa við ofninn þinn.
Þjónusta okkar
Vöruverslun Semixlab
